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半导体行业为例，在芯片制造过程（如扩散、薄膜沉积、刻蚀、离子注入）中，便会使用到各种易燃易爆、有毒有害的电子特气。 此产品应需求而生，贴近生产，贴近安全。
中国应急管理报，2023-5-26日报道
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